La Rf-GDOES è un quantometro/profilometro chimico ottico che lavora mediante l'erosione del materiale (solido) con plasma freddo prodotto in regime di Glow Discarge. Lo strumento è composto da due componenti: un generatore di plasma che erode il materiale da analizzare ed un analizatore ottico costituito da un policromatore. Con questo strumento il materiale viene continuamente eroso dal plasma freddo, mediante ionizzazione, e successivamente stabilizzato. durante la stabilizzazipone viene emesso una luce bianca che viene poi scomposta in più fasci luminosi a diversa lunghezza d'onda da una graticola ottica. la luce emessa con diversa lunghezza d'onda viene poi diretta a dei fotomoltiplicatori che sono associati ad un ben preciso elemento chimico. Lo strumento è capace di determinare la composizione chimica del materiale analizzato (28 elementi) con una precisione di circa 50 ppm. data la continua erosione del materiale e la simulatanea analisi del fascio luminoso, lo strumento consente di acquisire dei profili chimici con una precisione in profondità di analisi di 2 nm.  Tale peculiarità è possibile analizzare con lo strumento, non solo la composzione chimica massiva del materiale, ma anche la distribuzione elementale su uno spessore di indagine ben definito. Con un opportuna calibrazione è possibile ottenere dei profili chimici quantitativi ovverro in funzione della profondità di analisi.

Con il seguente strumento possono essere eseguite le seguenti analisi:

• analisi di bulk dei materiali (leghe Fe basso legate, leghe di Al);

• analisi profilometrica chimica su rivestimenti (PVD, ALD, galvanici);

• Analisi profilometrica chimica su profili diffusivi (cementazioni, nitrurazioni, fino a profondità massima di 0,1mm);

Il profilometro a stilo è uno strumento utilizzato per le analisi delle superfici, in particolar modo della tessitura superficiale. Il principio di funzionamento si basa su uno stilo che viene messo in contatto con la superficie da analizzare, che viene trascinata facendo muovere lo stilo lungo le asperità superficiali. In questo modo è possibile rilevare, con sensibilità nanometrica, il profilo della superficie che può essere poi analizzato al fine di tereminare i parametri di rugosità superficiale (Ra, Rt, Rq, etc..) o di tessitura superficiale (Sa, St, Sq). In particolare, per l'ultima analisi sono necessarie delle informazioni riferite su un'ampia area di analisi (mappa) che è possibile acquisire grazie ai motori passo passo di cui lo strumento è dotato. In questo modo è possibile rilevare la morfologia delle superfici, acquisendo delle mappe superficiali. Con questo strumento possono essere analizzate aree di massimo 15 cm x15 cm con dislivelli massimi di 1 mm ed una risoluzione verticale di qualche nanometro. Nel caso di mappatura lo strumento ha una risoluzione laterale di 0.001 mm. Lo strumento è dotato di software per l'analisi dei profili acquisiti sia 1D che 3D.

Le analisi eseguibili con questo strumento sono:

• Rilievo topografico della superficie;

• Misure di rugosità e tessitua superficiale;

• Analisi di profili di usura;